标准集团（香港）有限公司：升华泵的相关设置

公司简介：

标准集团（香港）有限公司作为一家集研发、制造、销售、培训、服务于一体的现代技术企业，分公司是上海泛标纺织品检测技术有限公司，负责销售业务，生产工厂是上海千实精密机电科技有戏公司，负责产品加工生产售后，致力于将更多检测仪器输送市场，提供纺织类、皮革类、燃烧类、汽车内外饰件、材料环境气候老化等等物理性能检测仪器，更可接受非标定制，购买前均可按照客户的要求进行针对性试验，确保所购仪器适用。

升华泵的主要部件是由活性金属钛(Ti)制作的灯丝。

通过大电流加热灯丝，使Ti升华后吸附在腔体的内壁上。

因为Ti的化学反应活性高，立刻捕捉周围的气体分子并发生反应而生成稳定的化合物，从而达到获得真空的目的。

内壁上的Ti反应层和气体分子反应达到饱和后，可再次启动升华泵而形成新的Ti反应层，从而不断排气。

如果升华后的Ti吸附在较大面积的内壁上，则产生巨大的排气速度。

比如在20℃1m2的面积上吸附 Ti原子，对氮气而言，可达到24000L/s的排气速度。

但是，在压强较高(>10-3 Pa)时，排气速度将大大降低，因此升华泵需要和其他排气泵组合使用。

升华泵长时间重复使用后，吸附在腔体内壁上的Ti膜厚度会增加。

在腔体暴露于大气时，这样的Ti膜又将吸附大量的气体。

这些气体即使经过250℃的烘烤也无法去除，从而成为氢分子的释放源。

只有在310℃以上的高温长时间维持，才可能除去这些吸附气体。

Ti的活性强，可以和氢气、氧气、氮气、一氧化碳以及其他活性气体发生化学吸附，通过捕捉、吸附这些气体来实现排气功能。

升华泵的不足点在于无法对氦等惰性气体排气，另外灯丝的寿命有限。

升华泵通常和离子泵或分子泵联合使用，其排气能力取决于Ti的升华速度和腔体内壁的表面积。

升华泵的排气量比离子泵大，在超高真空薄膜生长装置中;

通常在薄膜生长之前使用，使得薄膜生长在更高的真空环境下进行。

工厂简介：

上海千实精密机电科技有限公司成立于2012年，专注于研发、设计及生产纺织测试仪器，为学术研究单位及检测机构提供纺织测试仪器和服务，上海千实是目前国内较有竞争力和研发实力的纺织检测仪器厂家之一，研发团队由一群经验丰富的工程师组成，我们本着全心全意为客户服务，努力推动纺织检测仪器技术革新而努力。